Influence of Colloidal Abrasive Size on Material Removal Rate and Surface Finish in SiO2 Chemical Mechanical Polishing
Keterangan Bibliografi
| Penerbit | : |
| Pengarang | : Chunhong Zhou, Lei Shan, J. Robert Hight, and Steven Danyluk |
| Kontributor | : |
| Kota terbit | : |
| Tahun terbit | : |
| ISBN | : |
| Subyek | : |
| Klasifikasi | : Lubrication Engineering |
| Bahasa | : English |
| Edisi | : 2001-2005 |
| Halaman | : |
Jenis Koleksi Pustaka
Majalah
Abstraksi
Tidak ada Abstraksi
Inventaris
| # | Inventaris | Dapat dipinjam | Status Ada |
| 1 | 8311 | Ya |